TY  - BOOK
AU  - Beni,Gerardo
AU  - Belinski,Steve
AU  - Hackwood,Susan
AU  - Lakshmanan Karrupiah
AU  - Majid,Shirazi
AU  - Shigang Li
TI  - Vacuum mechatronics
SN  - 0890064563
U1  - TJ/940 
PY  - 1990///
CY  - Boston
PB  - Artech House
KW  - Vacuum technology.
ER  -